反滲透專用殺菌劑對電子行業(yè)原水的預處理
水是工業(yè)生產(chǎn)中重要的原料之一,沒有合格的水源,任何工業(yè)都不能維持下去。作為工業(yè)用水的淡水水源主要來自地表的江河水、湖泊和水庫水以及底下水(井水)。
河流的水質(zhì)組成 |
|||||||
成分 |
含量/(mg/L) |
||||||
珠江 |
長江 |
黃河 |
黑龍江 |
閩江 |
塔里木河 |
松花江 |
|
Ca2+ |
18.0 |
28.9 |
39.1 |
11.6 |
2.6 |
107.6 |
12.0 |
Mg2+ |
1.1 |
9.6 |
17.9 |
2.5 |
0.6 |
841.5 |
3.8 |
Na++K+ |
16.1 |
8.6 |
46.3 |
6.7 |
6.7 |
10265 |
6.8 |
HCO3- |
32.9 |
128.9 |
162.0 |
54.9 |
20.2 |
117.2 |
64.4 |
SO42- |
34.8 |
16.4 |
82.6 |
6.0 |
4.9 |
6052 |
5.9 |
Cl- |
7.3 |
4.2 |
30.0 |
2.0 |
0.5 |
14368 |
1.0 |
含鹽量 |
110.2 |
193.6 |
377.9 |
83.7 |
35.5 |
31751.3 |
93.9 |
某些淡水湖泊、水庫水質(zhì)組成 |
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成分 |
含量/(mg/L) |
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南湖(武漢) |
洪湖(湖北) |
立新城水庫(長春) |
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Ca2+ |
18.9 |
22.4 |
20.5 |
Mg2+ |
1.83 |
3.17 |
5.61 |
Na+ |
17.9 |
11.4 |
3.17 |
HCO3- |
70.7 |
75.3 |
79.9 |
SO42- |
15.8 |
10.3 |
5.0 |
Cl- |
13.7 |
4.55 |
7.1 |
含鹽量 |
138.7 |
127.12 |
121.3 |
在半導體制作工藝中,百分之80以上的工序要經(jīng)過化學處理。而每一道化學處理都離不開超純水;如在硅片的處理工序中,一半以上的工序經(jīng)過超純水清洗后便直接進入高溫處理過程,此時如果水中含有雜質(zhì)便會進入硅片,造成器件性能下降成品率低。
所以對微生物的標準是很嚴格的,所以在原水進入反滲透系統(tǒng)前需要進行預處理(如下圖)。
比如長江水中有機物數(shù)量龐大、種類繁多,尤其容易在反滲透膜上形成有機物污染;另一方面預處理也可能是微生物污染源,如輔助除去懸浮物的混凝劑過量,也給微生物提供了適宜的生長環(huán)境。
防止微生物污染的方法通常是采取有效的殺菌處理措施。所以還需要進行反滲透專用殺菌劑進行處理后,再到下一個工序。同時注意監(jiān)測反滲透系統(tǒng)各環(huán)節(jié)的水中微生物總數(shù)TBC以便有效的預防,當發(fā)現(xiàn)有微生物污染的癥狀時(壓差升高10%,產(chǎn)水量降低10%)應及時采取清洗措施以免污染加重。